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Abmessungen, cm | 32х52.3х56 |
Laterale Auflösung, μ | 20 |
Axiale Auflösung, μ | 2.6µm |
Umfang des Scannings, mm | 3-16 |
Horizontale Bewegung des Tisches: Scanbereich (mm) | 12 |
Betriebsabstand, mm | 17 |